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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

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PFB压电物镜聚焦台-上海纳动纳米位移技术有限公司
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产品: 浏览次数:64PFB压电物镜聚焦台-上海纳动纳米位移技术有限公司 
品牌: 上海纳动纳米位移技术有限公司
分辨率: 压电物镜
谐振频率(0g): 纳米聚焦台
承载能力: 压电平台
单价: 1000.00元/台
最小起订量: 1 台
供货总量: 100 台
发货期限: 自买家付款之日起 30 天内发货
有效期至: 长期有效
最后更新: 2022-05-28 15:03
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详细信息
产品描述
PFB-030U是重载设计直接驱动型的压电陶瓷物镜聚焦平台,是专门用于显微镜物镜的定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域,它设计为30μm的行程,非常适合短距离聚焦应用。
PFB-030U的应用范围包括:Z向移动,3D成像,自动对焦或与我们提供的XY纳米位移台设备一起使用。PFC-050U/100U本体由铝,钢和黄铜制成,闭环配有稳定性的传感器采用全闭环配置。
黄铜安装环可以轻松更换,以使每个物镜都适合PFC纳米定位台。可用的标准产品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等,也可以按需定制。本系列产品可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。
零间隙,高精度柔性铰链导向系统可实现更好的聚焦稳定性。它们的刚性可实现高负载能力,可带动较大物镜的高动态定位和扫描。
可选的应变测量反馈闭环操作版本,采用高分辨率应变测量位置传感器,具有高精度和可重复的运动,也补偿压电陶瓷的蠕变特性,闭环装置可以用于开环或闭环控制。
产品特性
—位移:30μm(闭环)
—螺纹尺寸:W0.8x1/36“至M38x0.75
—适用于质量达1Kg专用物镜
—带载500g物镜典型步进和稳定约为3ms
—较大物镜的高动态定位和扫描
选配功能
—可定制转接装置及固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择定制其它螺纹规格
应用领域
—半导体晶元切割、半导体测试、生物技术
—自动聚焦系统、测量技术
—干涉测量、筛选
—3D成像、共聚焦显微镜
—光学圆盘显微镜、超分辨率显微镜


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